一、互连、布线、隔离与装架工艺（论文文献综述）
袁明文[1]（1992）在《廿年回顾——机电部十三所研制GaAs MES FET和GaAs IC概况》文中认为 1 引言 微波小功率低噪声晶体管和微波功率晶体管是机电部十三所传统的研究领域之一。作为主要的三端微波半导体器件之一的硅微波器件在六十年代末期低噪声器件已趋成熟,器件性能已经接近理论设计的物理极限。1966年,美国的米德提出砷化镓金属半导体场效应晶体管,或称砷化镓场效应管（简称GaAsMES FET）。砷化镓材料在迁移率等方面的性能比硅材料优越得多,GaAs MES FET的微波性能更使硅微波器件望尘莫及,因此,
二、互连、布线、隔离与装架工艺（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、互连、布线、隔离与装架工艺（论文提纲范文）
（1）廿年回顾——机电部十三所研制GaAs MES FET和GaAs IC概况（论文提纲范文）
| 1 引言 |
| 2 砷化镓场效应管(GaAs MESFE T) |
| 2.1 砷化镓小功率场效应管 |
| 2.2 砷化镓功率场效应管 |
| 2.3其它GaAs MES FET |
| 3砷化镓单片集成电路 |
| 3.1 砷化镓单片微波集成电路 |
| 3.2 GaAs超高速集成电路(GaAs VHSIC) |
| 3.3 GaAs超高速模拟开关集成电路 |
| 4 设计和工艺 |
| 4.1 低噪声场效应管 |
| 4.2 功率场效应晶体管 |
| 5 材料 |
| 6 高电子迁移率晶体管(HEMT) |
| 7 结束语 |
四、互连、布线、隔离与装架工艺（论文参考文献）
- [1]廿年回顾——机电部十三所研制GaAs MES FET和GaAs IC概况[J]. 袁明文. 半导体技术, 1992(03)